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【赫哲真空知識普及】真空泵的分類
日期：2025-12-08 15:16
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摘要：
真空泵分為氣體輸送泵和氣體粘合或捕集泵。氣體容積式真 空泵可以沒有限制地使用，而氣體粘合真空泵具有有限的氣 體吸收能力，并且必須在一定的過程相關間隔進行。
氣體容積式泵，也被稱為氣體輸送泵，被分類為往復容積式 泵或動能真空泵。容積泵將密封區域的氣體置換到大氣或下 游泵級中。動能泵通過機械驅動系統或通過在抽吸部分結束 時冷凝的引導蒸汽流在抽吸方向對氣體進行加速來置換氣 體。氣體粘合真空泵通過吸氣或在合適溫度冷凝氣體的方式 將氣體粘合到的活性襯底上?；瘜W吸附是通過被稱為吸 氣泵的泵類型在...
真空泵分為氣體輸送泵和氣體粘合或捕集泵。氣體容積式真 空泵可以沒有限制地使用，而氣體粘合真空泵具有有限的氣 體吸收能力，并且必須在一定的過程相關間隔進行。
氣體容積式泵，也被稱為氣體輸送泵，被分類為往復容積式 泵或動能真空泵。容積泵將密封區域的氣體置換到大氣或下 游泵級中。動能泵通過機械驅動系統或通過在抽吸部分結束 時冷凝的引導蒸汽流在抽吸方向對氣體進行加速來置換氣 體。氣體粘合真空泵通過吸氣或在合適溫度冷凝氣體的方式 將氣體粘合到的活性襯底上。化學吸附是通過被稱為吸 氣泵的泵類型在上進行的，該吸附泵通過蒸發和/或升華 或濺射不斷地產生純凈的吸氣面。如果要結合的氣體粒子在 與吸氣面進行相互作用之前在離子吸氣泵中被電離了，則它 們可通過濺射清潔吸氣面的同時被濺射的材料掩蓋。非蒸散 型吸氣劑 (NEG) 包括反應性高的合金，其主要由鋯或鈦組 成，并且具有大的比表面積。氣體可以通過微孔滲透到 吸氣材料的深層里，并在那里結合成穩定的化合物。
圖 4.1: 真空概覽
